Разработан измеритель угловой расходимости лазерного пучка с ПЗС-видеокамерой, предназначенный для контроля качества излучения УФ-эксимерных лазеров. Максимальный диаметр контролируемого лазерного пучка – 110 мм. Разрешающая способность прибора соответствует дифракционному пределу. Диапазон длин волн контролируемого излучения находится в пределах от 200 до 1100 нм. Для проверки работы измерителя использовались промышленные лазеры – азотный импульсно-периодического действия типа ИЛГИ–503 и непрерывный гелий-неоновый типа ЛГН-105. Эксперимент продемонстрировал удовлетворительную работу измерителя как в непрерывном, так и в импульсном режимах.
1. Коваленко С.Е., Лосев В.Ф. // Квантовая электроника. 1992. Т. 19. Т 3. С. 219-221.